高真空應(yīng)用領(lǐng)域是當(dāng)壓力超過10^-5Pa之后就進(jìn)入到了。這個時候，多數(shù)真空泵的抽氣作用已經(jīng)停止或者抽速很低。那這個時候用來實(shí)現(xiàn)超高真空的真空泵都有哪些呢?

　　第一種，擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵對惰性氣體有著很好的抽氣作用，比如即使在10^-13Pa壓力下，其對氦仍能保持穩(wěn)定抽速，因此在很多的超高真空系統(tǒng)中得到運(yùn)用。但擴(kuò)散泵的返流引起的油污染限制了它的應(yīng)用，同時對氫的壓縮比也是限制其極限壓力的一個因素。

　　第二種，渦輪分子泵。渦輪分子泵是一種比較理想的清潔泵，其對分子量大的氣體壓縮比大，對輕的氣體壓縮比就小，在一些應(yīng)用領(lǐng)域開始替代油擴(kuò)散泵。超高真空應(yīng)用中，影響渦輪分子泵極限壓力的主要因素是入口段泵體內(nèi)表面和轉(zhuǎn)子零件表面的材料放氣。

　　第三種，濺射離子泵。濺射離子泵也是一種無油清潔真空泵，對惰性氣體的抽速大。其在10^-8Pa壓力以下時，由于自由電子密度減少潘寧區(qū)無法產(chǎn)生放電，會出現(xiàn)抽速降低，甚至“滅火”。

　　第四種，冷凍升華鈦泵。冷凍升華鈦泵是將鈦膜蒸發(fā)在77K以下的冷面上，擁有較大的抽速與較低的極限壓力，不僅可以實(shí)現(xiàn)抽氣的作用，同時可以減少放氣與防止返流的作用，在空間模擬以及極高真空獲得中不可或缺。缺點(diǎn)是對惰性氣體抽速很小，必須與其他泵配合。

　　第五種，彈道鈦泵。彈道鈦泵的極限壓力在10^-9Pa，對惰性氣體有一定抽速，但抽速不易做大，因此經(jīng)常被升華泵與濺射離子泵代替。

　　第六種，低溫冷凍泵。低溫泵也是超高真空獲得的主要方法之一，可以通過加大冷凍吸附面獲得很大的抽速，不含工作液體，屬于清潔真空泵。